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随着探索微观世界步伐的不断加快,操作对象的尺寸从细胞水平缩小到了分子、原子水平,操作任务也从观测升级到了改造。在这一过程中,微纳操控机器人发挥着极其重要的作用,其主流驱动方式包括电磁、静电、电热、压电等。尽管有为数众多的研究成果或商业产品不断涌现,但...